2023
一、電控柜的操作
1、玻璃真空鍍膜機開水泵、氣源
2、開總電源
3、開維持泵、真空計電源,真空計檔位置V1位置,等待其值小于10后,再進入下一步操作。約需5分鐘。
4、開機械泵、予抽,開渦輪分子泵電源、啟動,真空計開關換到V2位置,抽到小于2為止,約需20分鐘。
5、觀察渦輪分子泵讀數到達250以后,關予抽,開前機和高閥繼續抽真空,抽真空到達一定程度后才能開右邊的高真空表頭,觀察真空度。真空到達2×10-3以后才能開電子槍電源。